产品型号：STGP-80-12
炉膛尺寸：Φ80x1200mm
额定温度：1200℃
控温精度：±1℃
应用领域：PECVD系统（等离子增强化学气相沉积系统）由管式炉、真空获得、流量控制和射频电源四大模块组成， 本设备借助13.56Mhz的射频输出使含有薄膜组成原子的气体电离，在真空腔体内形成等离子体，利用等离子的强化学活性，改善反应条件，使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术，得到基片上沉积出所期望的薄膜，适用于1200℃条件下进行SiO2、SiNx薄膜的沉积。
全国咨询热线 18637977060
1、CVD管式炉系统由管式炉、真空获得、流量控制和射频电源
2、管式炉可选择不同的管径和恒温区的长度，炉管两端装有高真空不锈钢密封法兰；
3、真空获得系统可根据试验要求选择不同的真空泵，旋片式机械真空泵真空度≤5pa，分子泵真空机组真空度1×10-4pa；
4、气路供气系统可选择3路浮子手动和3路自动质量流量系统
5、真空测量为数字复合真空机或皮拉尼真空计
6、等离子体放电选择13.56Mhz的设备电源，功率输出可选择200W、300W和500W
7、管式炉可选择单温区440mm，也可选择三温区或多温区进行温度的梯度试验
8、温控器内置的RS485数字通信端口和USB适配器作为可选配置，可连接PC，用于系统的远程控制和监视，还可以保存或导出测试结果。
9、产品符合欧盟CE标准。
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型号 |
STGP-40-12 |
STGP-60-12 |
STGP-80-12 |
STGP-100-12 |
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炉管尺寸 |
Φ40 x 1200mm |
Φ60 x 1200mm |
Φ80 x1200mm |
Φ100 x 1200mm |
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额定温度 |
1200℃ |
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工作温度 |
1100℃ |
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加热区尺寸 |
440mm |
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电源电压 |
220V/1.8KW |
220V/2.6KW |
220V/2.6KW |
220V/2.6KW |
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加热元件 |
HRE铁铬铝合金电阻丝 |
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炉膛材料 |
湿法真空抽滤成型制备的多晶无机氧化铝陶瓷纤维材料 |
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炉管材料 |
石英管 |
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控温精度 |
±1℃ |
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测温元件 |
N型热电偶 |
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温控仪表 |
智能微电脑PID温控仪表，SCR/SSR控制，PID参数自整定功能；可编程序4组8个程序段，程序升温、程序保温、程序降温 |
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升温速度 |
1-25℃/min自由调节 |
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炉体结构 |
炉膛温控一体式结构，炉膛开合式；双层外壳，空气循环隔热 |
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密封性能 |
炉管两端装有不锈钢金属法兰，配套高温 PTFE 垫圈，可在真空下进行工作， 真空度≤5pa（旋片式真空泵） |
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射频电源 |
频率：13.56 MHz±0.005%，功率：5W-500W，功率稳定性 ：±0.5% |
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气体控制 |
可选择3路浮子手动流量计，量程60-600ml /min；3路自动质量流量计，量程1-500sccm |
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气氛性能 |
法兰两端有进气口和出气口，压力表装在金属法兰上，精密针型阀可调节进气和出气量，可通入氮气、氩气、氢气等保护气体 |
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气路接口 |
KF25真空挡板阀和KF25不锈钢波纹管连接真空泵；保护气氛6mm不锈钢卡套接头和PTFE管路 |
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设备保护 |
模块化控制，对工作过程中的超温、断偶会发出声光报警信号，并自动完成保护动作 |
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人员保护 |
在设备上装有空开断路器，如发生短路漏电情况时会自动弹开，能保护设备和操作人员 |
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外壳 |
优质冷轧钢板数控机床下料加工，经过焊接、打磨、抛光、磷化、酸洗、表面静电喷涂塑粉 |
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质量认证 |
ISO9001 CE SGS TUV |
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1、产品的制造和检测严格按相关标准执行，并有质量记录可査;每台设备都有唯一的制造编号，并建立用户档案。
2、所有产品均可通过权威的第三方检测机构检测;也可委托我方代为办理，费用另计。
3、交货期承诺: 按合同约定执行;如有特殊原因需提前交货的，我公司在条件允许的情况下特别组织生产，力争满足用户需求。
1、产品的制造和检测严格按相关标准执行，并有质量记录可査;每台设备都有唯一的制造编号，并建立用户档案。
2、所有产品均可通过权威的第三方检测机构检测;也可委托我方代为办理，费用另计。
3、交货期承诺: 按合同约定执行;如有特殊原因需提前交货的，我公司在条件允许的情况下特别组织生产，力争满足用户需求。
