【产品名称】1400℃-CVD管式炉
【炉管尺寸】φ25--φ120mm
【加热区】300mm
【额定温度】1400℃
【控温精度】±1℃
【应用领域】化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,是半导体工业中用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料。
一、 产品描述
系列产品主要针对在真空或者保护气氛下对样品的热处理,优质的炉膛材料和稳定的温度控制系统,可保证实验数据的可靠性;产品采用新型陶瓷纤维材料作为炉膛材料,炉管材质优良,炉管两端不锈钢法兰密封,可在真空下工作,法兰上有进气口和出气口,可通入保护气体,精密针型阀可调节进气流量。
二、产品特点
1、 炉膛材料选用高纯氧化铝陶瓷纤维材料,新型拼装结构,高温不变形、坚固耐用
2、 发热体采用硅碳棒,可承受负荷大,稳定且使用寿命长
3、 炉管采用石英管,两端不锈钢法兰设计简单、合理、易拆卸,方便进出被烧结样品
4、 升温速度快,从室温升到1400摄氏度,一般需要50分钟
5、 采用智能PID温控仪表,控温精度高,冲温小,具有温度补偿和温度校正功能,精度为±1℃
6、 控温仪表具有程序功能,可设定升温曲线,可编程序30段
7、 一体式结构,出色的外观设计,美观、大方
8、 电子元器件均采用知名产品,带有漏电保护功能
9、 本机对工作过程中的超温会发出报警信号,并自动完成保护动作
10、当仪表程序设定完成后,只要按下运行按钮,接下来的工作会自动完成
11、可选配大屏幕无纸记录仪,实现对升温曲线的实时记录,并带有存储卡可对实验数据进行分析和打印
12、可选配气体质量流量计,通入气体可数字精确控制
型号 | STGC-25-14 | STGC-40-14 | STGC-60-14 | STGC-80-14 | STGC-100-14 | STGC-120-14 |
炉管尺寸 | Φ25 x 900mm | Φ40 x 900mm | Φ60 x 900mm | Φ80 x 900mm | Φ100 x 900mm | Φ120 x 900mm |
额定温度 | 1400℃ | |||||
工作温度 | 1300℃ | |||||
加热区尺寸 | 300mm | |||||
电源电压 | 220V/2KW | 220V/2KW | 220V/3KW | 220V/4KW | 220V/5KW | 220V/8KW |
加热元件 | U型硅碳棒 | |||||
炉膛材料 | 湿法真空抽滤成型制备的多晶无机氧化铝陶瓷纤维材料 | |||||
炉管材料 | 刚玉管 | |||||
控温精度 | ±1℃ | |||||
测温元件 | S型铂铑热电偶 | |||||
温控仪表 | 智能微电脑PID温控仪表,SCR/SSR控制,PID参数自整定功能;可编程序30个时段,程序升温、程序保温、程序降温 | |||||
升温速度 | 1-30℃/min自由调节 | |||||
炉体结构 | 炉膛温控一体式结构,双层外壳,空气循环隔热 | |||||
密封性能 | 炉管两端装有不锈钢金属法兰,配套高温 PTFE 垫圈,可在真空下进行工作, 密封真空度≤0.0001pa | |||||
气氛性能 | 法兰两端有进气口和出气口,压力表装在金属法兰上,精密针型阀可调节进气和出气量,可通入氮气、氩气、氢气等保护气体 | |||||
真空获得 | 配套独立的真空获得系统,系统内配有1台双极旋片式真空泵和数字真空计,包括不锈钢波纹管和挡板阀等组件,系统真空度≤5pa,还可以选择分子泵机组 | |||||
气路系统 | 配套独立的气路系统,系统有三路浮子流量计组成,有混气室,可单进单出也可三路气体混气后进入管式炉系统,浮子流量计量程:60-600ml/min;也可选择自动质量流量计系统,控制精度±1.5%FS,重复精度±0.2%FS,量程:一路0-100SCCM,二路0-200SCCM,三路0-500SCCM | |||||
设备保护 | 模块化控制,对工作过程中的超温、断偶会发出声光报警信号,并自动完成保护动作 | |||||
人员保护 | 在设备上装有空开断路器,如发生短路漏电情况时会自动弹开,能保护设备和操作人员 | |||||
外壳 | 优质冷轧钢板数控机床下料加工,经过焊接、打磨、抛光、磷化、酸洗、表面静电喷涂塑粉 | |||||
质量认证 | ISO9001 CE SGS TUV | |||||
标准配置 | 1、炉体一台 2、温度控制器一台 3、电源线3米 4、热电偶一支 5、说明书一份 6、炉钩一把 7、高温手套一双 8、管堵二个 9、密封法兰一套 |