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1400℃-CVD管式炉

【产品名称】1400℃-CVD管式炉

【炉管尺寸】φ25--φ120mm

【加热区】300mm 

【额定温度】1400℃

【控温精度】±1℃ 

【应用领域】化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料。

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商品描述

【产品名称】1400℃-CVD管式炉

【炉管尺寸】φ25--φ120mm

【加热区】300mm 

【额定温度】1400℃

【控温精度】±1℃ 

【应用领域】化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料。


一、 产品描述

   系列产品主要针对在真空或者保护气氛下对样品的热处理,优质的炉膛材料和稳定的温度控制系统,可保证实验数据的可靠性;产品采用新型陶瓷纤维材料作为炉膛材料,炉管材质优良,炉管两端不锈钢法兰密封,可在真空下工作,法兰上有进气口和出气口,可通入保护气体,精密针型阀可调节进气流量。

二、产品特点

1、 炉膛材料选用高纯氧化铝陶瓷纤维材料,新型拼装结构,高温不变形、坚固耐用

2、 发热体采用硅碳棒,可承受负荷大,稳定且使用寿命长

3、 炉管采用石英管,两端不锈钢法兰设计简单、合理、易拆卸,方便进出被烧结样品

4、 升温速度快,从室温升到1400摄氏度,一般需要50分钟

5、 采用智能PID温控仪表,控温精度高,冲温小,具有温度补偿和温度校正功能,精度为±1℃

6、 控温仪表具有程序功能,可设定升温曲线,可编程序30段

7、 一体式结构,外观专利设计,美观、大方

8、 电子元器件均采用知名产品,带有漏电保护功能,安全可靠

9、 本机对工作过程中的超温会发出报警信号,并自动完成保护动作

10、当仪表程序设定完成后,只要按下运行按钮,接下来的工作会自动完成

11、可选配大屏幕无纸记录仪,实现对升温曲线的实时记录,并带有存储卡可对实验数据进行分析和打印

12、可选配气体质量流量计,通入气体可数字精确控制

型号

STGC-25-14

STGC-40-14

STGC-60-14

STGC-80-14

STGC-100-14

STGC-120-14

炉管尺寸

Φ25 x 900mm

Φ40 x 900mm

Φ60 x 900mm

Φ80 x 900mm

Φ100 x 900mm

Φ120 x 900mm

额定温度

1400℃

工作温度

1300℃

加热区尺寸

300mm

电源电压

220V/2KW

220V/2KW

220V/3KW

220V/4KW

220V/5KW

220V/8KW

加热元件

U型硅碳棒

炉膛材料

湿法真空抽滤成型制备的多晶无机氧化铝陶瓷纤维材料

炉管材料

刚玉管

控温精度

±1

测温元件

S型铂铑热电偶

温控仪表

智能微电脑PID温控仪表,SCR/SSR控制,PID参数自整定功能;可编程序30个时段,程序升温、程序保温、程序降温

升温速度

1-30℃/min自由调节

炉体结构

炉膛温控一体式结构,双层外壳,空气循环隔热

密封性能

炉管两端装有不锈钢金属法兰,配套高温 PTFE 垫圈,可在真空下进行工作, 密封真空度≤0.0001pa

气氛性能

法兰两端有进气口和出气口,压力表装在金属法兰上,精密针型阀可调节进气和出气量,可通入氮气、氩气、氢气等保护气体

真空获得

配套独立的真空获得系统,系统内配有1台双极旋片式真空泵和数字真空计,包括不锈钢波纹管和挡板阀等组件,系统真空度5pa,还可以选择分子泵机组

气路系统

配套独立的气路系统,系统有三路浮子流量计组成,有混气室,可单进单出也可三路气体混气后进入管式炉系统,浮子流量计量程:60-600ml/min;也可选择自动质量流量计系统,控制精度±1.5%FS,重复精度±0.2%FS,量程:一路0-100SCCM,二路0-200SCCM,三路0-500SCCM

设备保护

模块化控制,对工作过程中的超温、断偶会发出声光报警信号,并自动完成保护动作

安全保护

在设备上装有空开断路器,如发生短路漏电情况时会自动弹开,能保护设备和操作人员的安全

外壳

优质冷轧钢板数控机床下料加工,经过焊接、打磨、抛光、磷化、酸洗、表面静电喷涂塑粉

质量认证

ISO9001   CE    SGS   TUV

标准配置

1、炉体一台  2、温度控制器一台   3、电源线3米   4、热电偶一支  5、说明书一份  

6、炉钩一把  7、高温手套一双    8、管堵二个   9、密封法兰一套

联系电话:0379-64882966 / 0379-64883966
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